講演情報
[24a-P09-2]斜入射蒸着法により作製したInN膜のEC特性に対する成膜圧力の影響
〇西尾 舞雪1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大)
キーワード：
窒化インジウム
InNはEC現象を示すことがわかっている．本研究では成膜圧力を制御することでInN薄膜の結晶性，柱状晶の空隙や形状を変化させ，それに伴うEC特性の変化について調査することを目的とした．成膜圧力が高くなるほど最表面が肥大化し，表面が平滑になるとともに，柱状晶間の空隙が減少することが観察された．また，成膜圧力が大きいほどアモルファスピークが減少し結晶性が良好になることがわかった．