2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス:8.3 プラズマナノテクノロジー
[24a-P09-1~2]
8.3 プラズマナノテクノロジー
2024年3月24日(日) 9:30 〜 11:30
P09 (9号館)
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[24a-P09-1]
斜入射堆積法により作製した微細構造化酸化銅薄膜の光学的特性
〇坂本 大和
1
、井上 泰志
1
、高井 治
2
(1.千葉工大院工、2.関東学院大学)
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[24a-P09-2]
斜入射蒸着法により作製したInN膜のEC特性に対する成膜圧力の影響
〇西尾 舞雪
1
、井上 泰志
1
、高井 治
2
(1.千葉工大工、2.関東学院大)
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