セッション詳細

[24a-P09-1~2]8.3 プラズマナノテクノロジー

2024年3月24日(日) 9:30 〜 11:30
P09 (9号館)

[24a-P09-1]斜入射堆積法により作製した微細構造化酸化銅薄膜の光学的特性

〇坂本 大和1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大院工、2.関東学院大学)

[24a-P09-2]斜入射蒸着法により作製したInN膜のEC特性に対する成膜圧力の影響

〇西尾 舞雪1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大)