[24p-12F-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

14:15 〜 14:30

[24p-12F-3] <110>方位CZ-Si単結晶のネック部の転位挙動の観察

〇松村 尚^1,2、成松 真吾¹、斉藤 広幸¹、福井 勇希²、太子 敏則² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.信大工)

キーワード：

シリコン,転位