セッション詳細

[24p-12F-1~7]15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2024年3月24日(日) 13:30 〜 15:45
12F (1号館)
鈴木 秀俊(宮崎大)、 須藤 治生(GWJ)

[24p-12F-1][第45回優秀論文賞受賞記念講演] 低温FIB法を用いたシリコン粒界における酸素偏析サイトの精密評価

〇大野 裕1、吉田 秀人2、田中 真悟3、香山 正憲3、井上 耕治1、清水 康雄1、永井 康介1 (1.東北大金研、2.阪大産研、3.産総研)

[24p-12F-2]シリコン非対称粒界の形成過程とその機能

〇大野 裕1、斉藤 光2、梁 剣波3、重川 直輝3、横井 達矢4、松永 克志4、井上 耕治1、永井 康介1、波多 聰5 (1.東北大金研、2.九大先導研、3.阪公大院工、4.名大院工、5.九大総合理工)

[24p-12F-3]<110>方位CZ-Si単結晶のネック部の転位挙動の観察

〇松村 尚1,2、成松 真吾1、斉藤 広幸1、福井 勇希2、太子 敏則2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.信大工)

[24p-12F-4]3D µ-X 線トポグラフィーを使った 4H-SiC の貫通らせん転位の三次元構造

〇石地 耕太朗1、米山 明男1,2、稲葉 雅之3、福田 一徳4、榊 篤史5、大曲 慎也6、杉江 隆一7 (1.九州シンクロ、2.日立、3.日産アーク、4.コベルコ科研、5.日亜化学、6.産総研、7.東レRC)

[24p-12F-5]シリコン結晶基板の品質と点欠陥/第二世代(10)同位体と真正点欠陥の偏析

〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)

[24p-12F-6]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学/第二世代 (24) 窒素ドープFZシリコンのパワーデバイス特性とVNs

〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)

[24p-12F-7]シリコン結晶中の低濃度炭素の測定/第二世代 (27)赤外吸収のフォノン消去と低温測定

〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)