[24p-12F-1~7] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

15:30 〜 15:45

[24p-12F-7] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定/第二世代 (27)赤外吸収のフォノン消去と低温測定

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪公大 放射線研究センター)

キーワード：

シリコン結晶,炭素濃度,赤外吸収

シリコン結晶の炭素濃度の赤外吸収測定の障害は測定試料と参照試料のフォノン吸収の相殺不完全で、濃度低下と共に4段階ある。Outer, middleでは炭素とフォノンバンドの間に両吸収共0のgapがあり、それを結ぶbaselineが引ける。Inner bandは近すぎて重なっているが低温にすると両バンドが鋭くなり分離してbaselineが引ける。