講演情報
[24p-12G-12]Cu(II)原料を用いたパルスレーザ堆積法によるCuFeO2薄膜の作製
〇木下 裕貴1、相馬 拓人1、吉松 公平1、大友 明1 (1.東工大物質理工)
キーワード：
デラフォサイト,CuFeO2,パルスレーザ堆積法
デラフォサイト型構造CuMO2は幅広い応用が検討されているが，パルスレーザ堆積法における適切な薄膜作製条件の範囲は狭い．我々はCuFeO2薄膜合成において，Cu(II)を含むターゲットを用い，より低圧で合成をすることで，高品質な薄膜の作製に成功した．組成分析の結果，Cu(I)ターゲットを用いるとレーザアブレーションによりCu前駆体がターゲット中に残存してしまうため，薄膜中の組成がずれていることがわかった.