講演情報
[24p-12G-13]酸化チタン薄膜トランジスタにおけるアルカリ金属ドーピングによるドレイン電流の増強効果
〇宮澤 諒1、鈴木 晴登1、竹田 響綺1、三浦 正範1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工)
キーワード：
薄膜トランジスタ,原子層堆積法
本研究では、独自のアルカリ金属ドープ法を用いて薄膜トランジスタの電気的特性の改善を試みる。アルカリ金属吸着特性のあるアルミニウムシリケートを酸化チタン薄膜トランジスタのチャネル上に成膜した。アルカリ金属を吸着させ、I-V特性を取得したところ、アルカリ金属の吸着前後でドレイン電流の増強が確認できた。学会ではドレイン電流の増強要因について報告する。