[24p-21B-1~12] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

13:15 〜 13:30奨励賞エントリー

[24p-21B-2] プローブ型 TWA 法による熱拡散率測定における接触熱抵抗の評価

〇森岡 亮太¹、亀垣 柊二¹、劉 芽久哉²、森川 淳子¹ (1.東工大物質、2.産総研)

キーワード：

熱拡散率,化学増幅型レジスト,接触熱抵抗

ソフトマテリアルの局所的な熱拡散率計測を可能とするプローブ型 TWA 法では、試料と
センサーの接触状態を常に一定にすることが重要である。本研究では試料とセンサーの距
離をピエゾステージによって精密に制御しながら温度波信号を計測し、接触状態が熱拡散
率測定に及ぼす影響を調査した。また計算値との比較から接触熱抵抗を推定した。