講演情報
[24p-31B-1]DC電界下におけるHBr中の電子スウォームのヒステリシス
〇伝宝 一樹1 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)
キーワード：
放電,ヒステリシス,電子スウォーム
エッチングガスのHBrに対し，DC電界下の電子スウォームにヒステリシスが見出された．スウォーム解析にはMonte Carlo法を使用．振動励起および解離性電子付着断面積の存在が，ヒステリシスの主要因と推察する．実際のDCやRF放電，また，1次元以上の数値解析においては，他の空間からの高エネルギー電子の流入により，このヒステリシスは生じないと思われるが，今後の議論・発展に繋がることを期待し，記録として残す．