講演情報
[24p-31B-14]高品質Siナノ粒子製造に向けたRFプラズマスプレープロセスへのチャンバ内軸流サイクロンの導入検討
〇道垣内 将司1、田中 暁巳2、竹内 啓2、福田 健一1、神原 淳3 (1.島根産技センター、2.竹内電機株式会社、3.阪大院工)
キーワード：
プラズマスプレー,ナノ粒子
次世代リチウムイオン電池負極材向けSiナノ粒子のRFプラズマスプレーによる製造に向けて，回収粒子への10µm以上の粗粒混入抑止およびナノ粒子の粒径均一化を狙い，RFプラズマ装置内に軸流型サイクロンを設置した実験結果を報告し，熱流体解析を用いた考察を行う．