講演情報
[24p-P08-1]高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力
〇中林 賢二1、小川 泰那1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
キーワード：
マイクロ波プラズマ
真空装置を用いずにプラズマ放電部を減圧する手段として、高速ガス流を用いたベンチュリー効果を利用した。放電部の圧力と絶縁破壊に必要な電力及び放電の維持に必要な電力を調査した。放電部の圧力低下に応じて絶縁破壊及び放電に必要な電力は低下する傾向が見られた。