セッション詳細

[24p-P08-1~9]8.1 プラズマ生成・診断

2024年3月24日(日) 16:00 〜 18:00
P08 (9号館)

[24p-P08-1]高速ガス流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマの絶縁破壊電力及び放電維持電力

〇中林 賢二1、小川 泰那1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

[24p-P08-2]SiO2成膜を目的としたRF低圧テトラエトキシシランプラズマの診断
基板への入射ラジカル種および正イオン種の計測

〇奈良 歳三1、滝口 達也2、小田 昭紀2 (1.千葉工大院工、2.千葉工大)

[24p-P08-3]大気圧プラズマジェットへの外部電場印加時におけるプラズマ特性の計測

〇山田 大将1 (1.長野高専)

[24p-P08-4]大気圧ヘリウムプラズマジェットで生成する負イオンに対する添加ガスの影響

〇(B)道倉 心音1、ロー シンイン1、長門 研吉1、栗田 弘史2 (1.高知高専、2.豊橋技科大)

[24p-P08-5]電磁界シミュレーションを用いたスロットアンテナ及びT字型ガス導入金属管の構造の検討

〇浦谷 寛愛1、Bat Orgil Erdenezaya1、田中 康規1、中野 裕介1、石島 達夫1 (1.金沢大)

[24p-P08-6]波長可変半導体レーザー吸収分光によるホロー陰極放電中気体温度計測

〇松田 良信1、曽我 優也1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)

[24p-P08-7]リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた
深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発

〇(B)小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

[24p-P08-8]深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS)における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明

〇横山 英佐1、堀内 楓1、高橋 勇成1、中川 悠幹1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

[24p-P08-9]高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断

〇(B)中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大学、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)