講演情報
[24p-P08-5]電磁界シミュレーションを用いたスロットアンテナ及びT字型ガス導入金属管の構造の検討
〇浦谷 寛愛1、Bat Orgil Erdenezaya1、田中 康規1、中野 裕介1、石島 達夫1 (1.金沢大)
キーワード：
マイクロ波プラズマ,電磁界シミュレーション,プラズマCVD
プラズマCVD法を用いて成膜を行うにあたって、筆者らは矩形導波管にT字型のガス導入金属管を組み合わせたモデルを考案した。ガス導入金属管がスロットアンテナにおける電界強度に及ぼす影響を調査するため、電磁界シミュレーションを用いた検討を行った。検討の結果、スロット長を60 mmとした場合の導波管内部の電界強度の様相は、スロット長をその他に設定した場合の電界強度の様相と異なることが示唆された。