講演情報
[24p-P08-6]波長可変半導体レーザー吸収分光によるホロー陰極放電中気体温度計測
〇松田 良信1、曽我 優也1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
キーワード：
外部共振器型半導体レーザー,気体温度,ホローカソード放電
外部共振器型半導体レーザーを用いた吸収分光計測により、内径5.4mm、長さ20mmの低気圧Arホローカソード放電中の気体温度と準安定Ar原子密度を計測した。動作気圧100,200, 300でPa、放電電力を1-10 W程度で変化したとき、動作気圧および放電電力の増加とともに気体温度が450-560K程度の範囲で増加することがわかった。