講演情報
[24p-P08-7]リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた
深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発
〇(B)小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
飛行時間型質量分析法,マグネトロンスパッタリング
現在、DOMS研究の対象は成膜特性に集中しており、DOMSプラズマ過程の詳細に関する検討はこれからである。本研究では、飛行時間型質量分析法（TOF-MS）で測定されるDOMSの生成イオンに対する多成分イオン同時計測システムを開発し、多成分イオン粒子に対し時間発展計測を行った。結果として、DOMSにおけるイオン生成過程の違いを反映し、DOMSの各パルスの放電波形は、各成分ごとに異なるピーク位置と波形を示した。