講演情報
[24p-P08-8]深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明
〇横山 英佐1、堀内 楓1、高橋 勇成1、中川 悠幹1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
深振動マグネトロンスパッタリング,発光分光分析,ガス希薄化現象
深振動マグネトロンスパッタリングにおけるガス希薄化現象は、ガス密度の変動を誘起し、マイクロパルス毎の放電特性に影響を与えるものの、成膜とその制御に対する問題や可能性は、十分に検討されているとはいえない。本研究では、プラズマ内発光粒子の原子線発光における遅延時間計測を行い、ガス密度分布の時間・空間相関解析を行なうとともに、発光遅延時間の変動に伴うスパッタ粒子のイオン化率の変動を確認した。