講演情報
[24p-P08-9]高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断
〇(B)中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大学、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
レーザー誘起蛍光法,マグネトロンスパッタリング
高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)で生成するプラズマ中には、中性／イオン粒子、およびそれらの発光／非発光粒子が含まれ、各粒子に適した分光計測法によってプラズマ診断が行われてきた。本研究では、当研究室で開発中の成膜領域（イオン加速領域に相当）における飛行時間質量分析法で得られた成分・生成量の比較を目的として、成膜領域における非発光性中性粒子に対するレーザー誘起蛍光法を用いたプラズマ診断法を行った。