講演情報
[24p-P09-1]大電力パルスマグネトロンスパッタリングプラズマの空間0次元モデルの構築
〇柿沼 慧多1、阿部 元暉1、太田 貴之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大工、2.名城大理工)
キーワード：
プラズマ,スパッタリング,シミュレーション
大電力パルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)は低温プラズマを用いた金属成膜手法の一つである。パルス電源を用いることで，金属粒子のイオン化率が向上するため，膜硬度や密着性を向上させる。しかし，従来の直流電源のものと比較して成膜速度が低下するため，HiPIMSの内部機構を解明し，成膜速度を改善させる必要がある。本研究では，HiPIMSのプラズマの空間0次元モデルを構築し，各種プラズマ特性の時間変化を解析したため報告する。