セッション詳細
[24p-P09-1]大電力パルスマグネトロンスパッタリングプラズマの空間0次元モデルの構築
〇柿沼 慧多1、阿部 元暉1、太田 貴之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大工、2.名城大理工)
[24p-P09-3]粉体ターゲットを用いた成膜機構とターゲット表面の関係I
〇川崎 仁晴1、佐竹 卓彦1,2、青木 振一2、大島 多美子3 (1.佐世保高専、2.崇城大、3.長崎大学)
[24p-P09-4]プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングを用いたa-IGZO薄膜の特性制御
〇竹中 弘祐1、上田 拓海1、都甲 将1、江部 明憲2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)
[24p-P09-6]CxHy+ArプラズマCVDを用いた水素化アモルファスカーボン膜の堆積特性に対するガス圧力の効果
〇(M2)小野 晋次郎1、恵利 眞人1、奥村 賢直1、山下 尚人1、鎌滝 晋礼1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九州大学)
[24p-P09-7]低温プラズマを使った官能基修飾における多層カーボンナノチューブ表面のイソシアネート基修飾の調査
〇前原 聖心1、渡邊 翔斗1、中村 圭二1、近藤 博基2、小川 大輔1 (1.中部大、2.九州大)