講演情報
[24p-P09-2]RFマグネトロンスパッタリング法を用いた面内配向HAp膜の製膜
〇(M1)鵜久森 竜也1、松川 真美1 (1.同志社大)
キーワード：
スパッタリング,製膜,ハイドロキシアパタイト
人工骨の癒合期間短縮を目的として、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて人工骨修飾用HAp薄膜の配向制御に取り組んだ。異なるターゲット-基板距離で試料を作成した。X線回折法、FTIR、TEM、SEMを用いて製膜した膜の状態の確認を行った。特定官能基が欠けていない単斜晶の面内配向HAp膜の製膜に成功した。製膜したHAp膜は実際の骨と同様にCa-richであった。