講演情報

[24p-P09-8]NF₃ およびSF₆ 凝縮層の電子励起によるSiN のクライオエッチング

〇小澤一貴¹、渡辺龍星¹、山田智輝¹、佐藤哲也¹ (1.山梨大学)

エッチング,シリコンナイトライド,NF3