[24p-P11-1~2] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[24p-P11-1] X 線照射された SiO₂ 膜の電気伝導機構

〇(M2)村田 周平^1,2、野平 博司¹、小林 大輔²、廣瀬 和之² (1.東京都市大院、2.宇宙研)

キーワード：

半導体,電気伝導機構

絶縁体薄膜に X 線が照射された際，膜中に電荷が生成され電流が流れるが，その伝導機構の理解は未だ十分ではないためX 線照射後の定常状態時 に着目して検討する