講演情報

[24p-P13-2]自己組織化エレクトレットを用いた MEMS アクチュエータのプルイン特性に関する検討

〇(M2)井上岳¹、井口龍司¹、田中有弥²、山根大輔¹ (1.立命大大学院、2.群馬大)

MEMS