[24p-P16-1~41] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[24p-P16-15] c 面サファイア基板上への Zn-Ga-O 薄膜の大気圧気相堆積 ～金属原料充填量及びキャリガス流量依存性～

〇菅原 新¹、濱園 龍一¹、寺迫 智昭¹、矢木 正和² (1.愛媛大院理工、2.香川高専)

キーワード：

ジンクガレート,化学気相堆積法,薄膜