[24p-P16-1~41] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[24p-P16-16] β-Ga₂O₃(001)エピタキシャル基板中のArrow head型エッチピットの転位線断面観察

〇(M2)伊佐治 颯¹、寺田 文軌¹、野坂 竜司¹、蓮池 紀幸¹、一色 俊之¹、小林 健二²、藤谷 武史²、姚 永昭³、石川 由加里³ (1.京工繊大、2.日立ハイテク、3.ファインセラミックスセンター)

キーワード：

酸化ガリウム,転位,エッチピット