講演情報

[24p-P16-17]β-Ga₂O₃(001)バルク基板におけるCannonball型エッチピットに対応する転位のバーガースベクトル

〇寺田文軌¹、伊佐治颯¹、蓮池紀幸¹、一色俊之¹、小林健二²、藤谷武史²、姚永昭³、石川由加里³ (1.京都工繊大、2.(株)日立ハイテク、3.(一財)ファインセラミックスセンター)

酸化ガリウム,転位,エッチピット