講演情報

[24p-P16-29]低温 Deep UV 照射処理された B-doped In2O3 TFT

〇(M1)山寺 真理1、木菱 完太1、相川 慎也1 (1.工学院大)

キーワード:

薄膜トランジスタ,低温熱処理,ヒステリシス