講演情報
[24p-P16-30]水系前駆体溶液とエキシマ光を用いた酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
〇(M1)笠原 綾祐1、駒井 伯成1、和田 英男1、小山 政俊1、藤井 彰彦1、清水 昭宏2、竹添 法隆2、山口 紫苑2、伊藤 寛泰2、前元 利彦1 (1.大阪工大 ナノ材研、2.（株）ウシオ電機)
キーワード：
金属酸化物半導体,酸化インジウム,薄膜トランジスタ
我々はこれまで，炭素を含まない水溶液ベースの前駆体溶液とエキシマ光を組み合わせた溶液法により，トップゲート型In2O3薄膜トランジスタを作製し，諸特性を評価してきた．最高プロセス温度200℃で，伝達特性において，2.4×104のOn/Off比が得られている．今回はさらなる特性の向上のため，より高温で熱処理を行い，結晶性や伝達特性を評価したのでそれらの結果について報告する．