講演情報

[24p-P16-32]SnO₂スパッタターゲットを用いたSnO製作：Ar/H₂および真空中ポストアニールの比較

〇(M1)小林翔¹、川口拓真¹、木菱完太¹、相川慎也¹ (1.工学院大工)

還元スパッタリング