2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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[24p-P16-36]
プラズマガス雰囲気の調整によるCu/Cu2O型PVセルの特性改善
〇横瀬 太洋
1
、相澤 憲太
2
、佐藤 直幸
1
(1.茨城大理工、2.茨城大工)
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キーワード:
ECRプラズマ,Cu/Cu2O型PVセル,背面電極
プラズマ照射面と温度計測面以外をプラズマガス雰囲気から覆う背面電極構造と計測手法に改良を加え,セル作製および特性取得を精度高く繰り返す毎に,改善されたV-I特性が得られるようになってきた.
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