[24p-P16-1~41] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[24p-P16-41] ルチル構造r-GeO₂薄膜の結晶性向上

〇清水 悠吏^1,2、衣斐 豊祐²、荒木 努¹、金子 健太郎^3,2 (1.立命館大学理工、2.Patentix株式会社、3.立命館大学総合科学技術研究機構)

キーワード：

二酸化ゲルマニウム,超ワイドバンドギャップ,パワーデバイス