[25a-12C-1~9] 1.4 エネルギー変換・貯蔵・資源・環境

10:45 〜 11:00

[25a-12C-7] 垂直貫通電極を用いたSiキャパシタの動作

〇畑野 舞子¹、佐川 啓¹、田中 岳利¹、奥 良彰¹、中原 健¹ (1.ローム株式会社)

キーワード：

キャパシタ

大容量を得るための手段として、微細なトレンチを形成し表面積の拡大がなされているが、トレンチ底の誘電体膜厚が薄くなることが分かっている。リーク電流の増加を防ぐために垂直貫通電極を用いて誘電体の厚膜化可能なSiキャパシタを作製し、特性評価を実施したので報告する。