講演情報

9:00 〜 9:15

[25a-12J-1]有機溶媒を用いた狭スペースローディングの改善メカニズム

〇吉田祐希¹、中野雄大²、Kumari Sangita³、Hu Shan³、D’elia Peter³ (1.TEL九州、2.TELテクノロジーソリューションズ、3.TELテクノロジーセンターアメリカ)

ウェットエッチング,狭スペース

広いスペースに対する狭いスペースのエッチングレートは、水溶媒の場合は遅くなり、有機溶媒の場合は速くなることが確認された。スペース内の分子分布や拡散状態の違いをMD計算から求めた結果より、電気二重層モデル以外の要因について考察した。