講演情報
[25a-12J-7]非平衡グリーン関数法によるナノシート構造デバイスシミュレーション
〇大倉 康幸1、小田 嘉則1、小瀬村 大亮1、原田 昌紀1、小池 秀耀1 (1.アドバンスソフト（株）)
キーワード：
デバイスシミュレーション,ナノ構造
非平衡グリーン関数による３次元デバイスシミュレータを開発し、シリコンナノシート構造に適用し、ドリフト拡散モデルとの関係を検討した結果を報告する。非平衡グリーン関数による３次元デバイスシミュレータを開発し、シリコンナノシート構造に適用し、ドリフト拡散モデルとの関係を検討した結果を報告する。