講演情報
[25a-12K-7]コンタクトレスPECエッチングを用いたGaNナノワイヤ作製におけるマスク材料の検討
〇古内 久大1,2、本久 順一1,2、佐藤 威友1,2 (1.北大情報、2.北大量集センター)
キーワード：
GaNナノワイヤ
光支援化学(PEC)エッチングはGaNの低損傷加工プロセスである。今回基板への配線不要なコンタクトレスPECエッチング、アルカリ溶液による側面のエッチングによりGaNナノワイヤの作製をする際の、マスク材料(Ti、Cr)による差について検討したので報告する。