[25a-21C-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[25a-21C-1] グラフェンナノパターンマスクを用いて成長したr面サファイア基板上a面GaN-MCE層の評価

〇横井 稜也¹、柳瀬 優太¹、長村 皓平¹、丸山 隆浩¹、成塚 重弥¹ (1.名城大理工)

キーワード：

窒化ガリウム,グラフェン,マイクロチャンネルエピタキシー