講演情報

[25a-21C-3]低転位密度AlNテンプレート基板上へのAlGaNのRF-MBE成長

〇笠井 遼太郎1、田中 練1、出浦 桃子2、漆山 真3、赤池 良太3、中村 孝夫3,4、三宅 秀人3、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.立命館大 R-GIRO、3.三重大院工、4.三重大未来図)

キーワード:

AlGaN,RF-MBE成長,AlN テンプレート基板