[25a-21C-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:00 〜 11:15

[25a-21C-8] スパッタ法による高Al組成AlGaNへの高濃度Geドーピング

〇内藤 愛子¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

窒化アルミニウムガリウム,ドーピング,縮退