[25a-61A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:45 〜 10:00

[25a-61A-2] 酸素プラズマと水プラズマを利用した原子層堆積多結晶酸化インジウム膜の評価

〇(M1)朴 鍾鎬¹、髙橋 颯太¹、星井 拓也¹、髙橋 崇典²、砂川 美佐³、霍間 勇輝³、笘井 重和³、筒井 一生¹、若林 整¹、浦岡 行治²、角嶋 邦之¹ (1.東工大、2.奈良先端大、3.出光興産)

キーワード：

酸化物半導体