セッション詳細

[25a-61A-1~8]21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2024年3月25日(月) 9:30 〜 11:30
61A (6号館)
山田 容士(島根大)

[25a-61A-1]水プラズマを用いた原子層堆積In2O3膜の堆積レート及び電気特性

〇高橋 颯太1、朴 鍾鎬1、星井 拓也1、髙橋 崇典2、砂川 美佐3、霍間 勇輝3、笘井 重和3、筒井 一生1、若林 整1、浦岡 行治2、角嶋 邦之1 (1.東工大、2.奈良先端大、3.出光興産)

[25a-61A-2]酸素プラズマと水プラズマを利用した原子層堆積多結晶酸化インジウム膜の評価

〇(M1)朴 鍾鎬1、髙橋 颯太1、星井 拓也1、髙橋 崇典2、砂川 美佐3、霍間 勇輝3、笘井 重和3、筒井 一生1、若林 整1、浦岡 行治2、角嶋 邦之1 (1.東工大、2.奈良先端大、3.出光興産)

[25a-61A-3]ワイドギャップ酸化物半導体材料に対するKrFエキシマレーザー照射プロセスの適用検討

〇薮田 久人1,2,3、田中 洋平2、片山 慶太1,3、別府 美彩1、佐藤 舞起3、石原 昌幸3、岩本 知広4、妹川 要5、三浦 泰祐5 (1.九大シス情、2.九大ギガフォトンNextGLP、3.九大工、4.茨城大工、5.ギガフォトン㈱)

[25a-61A-4]膜厚 30 nm 以下でのガラス基板上 Ga 添加酸化亜鉛薄膜特性

〇(PC)Palani Rajasekaran1、北見 尚久1,2、小林 信太郎3、稲葉 克彦3、牧野 久雄1、山本 哲也1 (1.高知工科大総研、2.住友重機械(株)、3.(株)リガク)

[25a-61A-5]希少金属In不使用の非晶質SnO2透明導電膜の開発と太陽電池への展開

〇鯉田 崇1、松井 卓矢2、齋 均2 (1.産総研 省エネ部門、2.産総研 再エネセンター)

[25a-61A-6]非晶質 W 添加 In2O3 超薄膜特性へのポストアニール効果

〇山本 哲也1、Rajasekaran Palani1、岡田 悠悟2、前原 誠2、北見 尚久1,2、小林 信太郎3、稲葉 克彦3、牧野 久雄1、木下 公男2 (1.高知工科大学総研、2.住友重機械工業(株)、3.(株)リガク)

[25a-61A-7]Zn供給成膜によるZnO膜の結晶欠陥と電気特性

〇山田 祐美加1,2、舩木 修平2、山田 容士2 (1.(株)コベルコ科研、2.島根大自然)

[25a-61A-8]CeO2単結晶中のキャリア再結合を支配する欠陥の分析

〇Zhang Endong1、Brabec Christoph2、加藤 正史1 (1.名工大、2.エアランゲン・ニュルンベルク大学)