講演情報
[25a-61A-6]非晶質 W 添加 In2O3 超薄膜特性へのポストアニール効果
〇山本 哲也1、Rajasekaran Palani1、岡田 悠悟2、前原 誠2、北見 尚久1,2、小林 信太郎3、稲葉 克彦3、牧野 久雄1、木下 公男2 (1.高知工科大学総研、2.住友重機械工業(株)、3.(株)リガク)
キーワード：
酸化インジウム,超薄膜,サイズ効果
ガラス基板上に基板無加熱条件で得られた非晶質In2O3系薄膜特性への熱アニール効果を報告してきた. W添加非晶質In2O3超薄膜 (膜厚 t: 5~10 nm) は真空条件下熱アニール後, 多結晶化と共に導電性が向上する. t=5,7 nmではキャリア平均自由行程はtよりも大きく, 金属薄膜と同様なサイズ効果が観察される. 本件では大気圧条件下熱アニール効果との比較を通しキャリ輸送設計への課題を明確にする.