[25a-61A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:00 〜 11:15

[25a-61A-7] Zn供給成膜によるZnO膜の結晶欠陥と電気特性

〇山田 祐美加^1,2、舩木 修平²、山田 容士² (1.(株)コベルコ科研、2.島根大自然)

キーワード：

透明導電膜,スパッタリング成膜,結晶欠陥