講演情報

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー注目講演

[25a-61B-6]デジタルツインを用いた高効率 TSV 用低 GWP ガスの開発

〇高倉陽平¹、下薄拓実²、中村浩貴²、岡本鈴佳²、野尻康弘¹、熊谷修¹、林久貴¹ (1.ダイキン工業株式会社化学事業部、2.ダイキン工業株式会社テクノロジー・イノベーションセンター)

デジタルツイン,エッチング,デポジション