[25a-61B-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 | 2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:30

61B (6号館)

布村正太(産総研)

9:15 〜 9:30

〇高崎晃一¹、佐竹真²、三浦真¹ (1.日立ハイテク、2.日立研開)

9:30 〜 9:45

〇中村昭平^1,2、谷出敦^1,2、灘原壮一^1,2、石川健治²、堀勝² (1.SCREENホールディングス、2.名古屋大学)

9:45 〜 10:00

〇松本響平¹、Jiawen Yu¹、花房宏明¹、東清一郎¹ (1.広大先進理工)

10:00 〜 10:15

〇赤塚勇大¹、鈴木陽香¹、森山誠²、飯野大輝²、福水裕之²、栗原一彰²、豊田浩孝¹ (1.名古屋大、2.キオクシア（株）)

10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

〇福島航平¹、中村雄吾¹、都地一輝²、トラントラングエン²、堤隆嘉²、石川健治²、片平研¹ (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング(株)、2.名古屋大学)

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー注目講演

〇高倉陽平¹、下薄拓実²、中村浩貴²、岡本鈴佳²、野尻康弘¹、熊谷修¹、林久貴¹ (1.ダイキン工業株式会社化学事業部、2.ダイキン工業株式会社テクノロジー・イノベーションセンター)

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

〇中村浩貴¹、下薄拓実¹、田中健大²、金子萌²、野尻康弘²、熊谷修²、林久貴² (1.ダイキン工業株式会社テクノロジー・イノベーションセンター、2.ダイキン工業株式会社化学事業部)

11:15 〜 11:30

〇林俊雄¹、石川健治¹、関根誠¹、堀勝¹ (1.名古屋大学工)