講演情報
[25a-61B-7]プラズマ物理量を導入したデジタルツインによるエッチングガス開発
〇中村 浩貴1、下薄 拓実1、田中 健大2、金子 萌2、野尻 康弘2、熊谷 修2、林 久貴2 (1.ダイキン工業株式会社テクノロジー・イノベーションセンター、2.ダイキン工業株式会社化学事業部)
キーワード：
エッチングガス,デジタルツイン,プラズマ物理量
デバイスの微細化、高集積化に伴い、エッチングプロセス構築が年々、難化している。プロセス課題解決の効果的な手段のひとつに新ガスの添加がある。しかし、ガス添加により、プラズマの状態が大きく変化し、エッチング条件適正化には多くの工数がかかる。本報告では、プラズマ物理量を導入したデジタルツインによるエッチング条件の効率的な探索手法について報告する。