講演情報
[25a-61B-8]計算化学によるC3F8とC3F6の解離過程の比較
〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学工)
キーワード：
エッチング,C3F8,C3F6
C3F8ガスは代表的なエッチングガスの一つとして多く用いられ、その電子物性も総合的に議論されている。しかし、それに比較してC3F6は多くは用いられていない。後者は2重結合があるためF/C比が低く重合し易い傾向を持つ化合物であり、前者に比べその電子物性についても詳しく調べられていない。ここでは、この観点に立ち2重結合の有無により解離過程にどのような差異が生じるかを詳細に調べたので報告する