[25a-71B-1~9] 17.3 層状物質

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[25a-71B-3] 反応性スパッタリングで成膜した多層MoS₂の光電流生成

〇(P)金 明玉¹、岡田 至崇¹ (1.東大先端研)

キーワード：

MoS2,反応性スパッタリング,光電流

本研究は反応性スパッタリングで多層MoS₂を成膜し、太陽電池の光吸収層としての可能性を検討する。サファイア基板上でラテラル成長させた10 nmのMoS₂を用いてAg/MoS₂/Ag構造を作製し、光照射下で伝導特定を評価した。その結果AM1.5Gの光照射下で光電流生成により抵抗が減少した。背面電極と使われているAgによるミラーの効果で光吸収が2倍程度増大したと考えられる。