講演情報
[25p-12H-12]圧力負荷における高分子基板に成膜した非晶質炭素薄膜の導電性変化
〇高田 歩1、中川 颯太1、Sarayut Tunmee2、小畑 修二1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.東京電機大学、2.タイ王立シンクロトロン光研究所)
キーワード：
DLC,NEXAFS分光法
各種高分子基板上に同一条件にてDLCを成膜し、電気特性の観点からDLCの基板依存性について検討した。ベンゼン環を有する高分子基板に成膜したDLCは、抵抗率が低下し、導電性付与が認められた。NEXAFSを用いて膜構造分析を行った結果、sp^2結合比率が高いことが確認された。これらより、DLCは高分子基板の違いによりsp^2構造比率が異なり、これに伴い圧力負荷による導電性付与も異なることが示唆された。