[25p-12H-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

15:30 〜 15:45

[25p-12H-8] 大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるパルス間隔の効果

〇太田 貴之¹、國枝 滉¹、松本 詩郎¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：

スパッタリング,ダイヤモンドライクカーボン