講演情報
[25p-12H-9]真空アーク蒸着を用いた水素フリーDLC膜形成におけるコイル陽極の巻き数依存性
〇渡辺 聖也1、鬼頭 純平1、佐野 絃貴1、大根田 みらの1、坂東 隆宏1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
キーワード：
DLC,真空アーク蒸着,コイル陽極
直流アーク電流を利用して磁界を発生させるコイル陽極を用いて実験を行った。本装置を用いてコイル陽極の巻き数を変えta-C膜を作製した。作製した膜は，膜厚をカロテストで計測し，表面分析にはデジタルマイクロスコープを用いた。実験結果から，コイル陽極の巻き数を増やすことで成膜速度が向上することが分かった。同時に，膜厚に対するドロップレット数も相対的に減少することが分かった。